第131章 产业链布局（2/2）

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二、精密机械的稳步推进

工作台和对准系统是精密机械部分的核心。上海机床厂在精密制造方面有深厚的底蕴，贾东旭再次来到上海，和上海机床厂商讨建立恒温车间生产气浮导轨的事宜。

“领导，这恒温车间对生产高精度气浮导轨至关重要，只有在稳定的温度环境下，才能保证导轨的精度。咱们一起干，肯定能为光刻机打造出最精准的‘脚’！”贾东旭充满激情地说道。

上海机床厂的领导被贾东旭的热情和诚意打动，决定全力支持。从车间的设计建设到设备的安装调试，每一个环节都严格把关。

1988年，恒温车间正式投入使用，生产出的气浮导轨定位精度达到了±0.02μm。虽然离最终目标还有一点距离，但这已经是国内精密机械制造领域的一次重大突破。

对准系统的关键在于CCD图像传感器。贾东旭来到西安光机所，寻求合作。“所长，这光刻机的对准系统就靠这CCD图像传感器了，你们所在光学成像方面技术领先，一定要帮我们这个忙！”贾东旭急切地说。

西安光机所的所长表示愿意合作，但也坦言：“这高精度的CCD图像传感器研发难度很大，我们需要时间和资源。”

贾东旭马上承诺：“资源方面我们全力支持，时间上我们也会合理安排，大家一起努力，攻克这个难关。”

经过几年的努力，1989年，西安光机所成功开发出满足要求的CCD图像传感器，实现了±0.15μm的对准精度，为光刻机的精密机械部分又添上了重要的一笔。

三、控制系统的创新发展

控制系统是光刻机的“大脑”，硬件和软件都至关重要。贾东旭把目光投向了刚刚兴起的深圳华强北。当时的华强北已经初现电子产业集聚的雏形，充满了活力和机遇。

贾东旭在华强北四处奔波，寻找合适的合作伙伴建立PCB生产线。“老板，咱们一起建PCB生产线，生产16位运动控制卡，这可是光刻机的核心硬件之一，市场前景不可限量！”贾东旭向一位电子厂老板推销着自己的想法。

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